1 . 微型機械

micrologic 微邏輯micromachine微型機械micromanipulator 顯微操作設備顯微檢驗裝置精密控制器.

2 . 微切削

microm 測微計, micromachine微切削, microma-nipulation 顯微操作

3 . 微電子機械

micromachine微機器人, micromachine微電子機械, micromachine微機構

4 . 微機器人

micromachine微切削, micromachine微機器人, micromachine微型機械系統

相關詞條

1 . 表面微

sensor is a capacitive transducer constructed using surface micromachining ., 傳感器是使用電容式傳感器的表面微構造.

1 . 體微加工

在一般的實踐中，把工藝劃分成體微加工（bulk micromachining），其工藝特點是在襯底中進行深刻蝕；表面微加工（surface micromachining），其工藝特點是去除薄膜結構下的犧牲層，以釋放能夠活.

2 . 體型微細加工

本文所制作之微機械濾波器，具有兩端固定懸臂梁結構，并且整合微機電制程中的體型微細加工（bulk micromachining）和溶膠-凝膠（sol-gel）法制作PZT（鋯鈦酸鉛）薄膜兩種技術而完成的。

1 . 電容式微機械

design of upper limit of measurement range on capacitive micromachined accelerometer ., 電容式微機械加速度計測量范圍上限設計.

1 . 激光微型工

laser memory 激光存儲器laser micromachining 激光微型工laser microscope 激光顯微鏡

2 . 激光存儲器

4. 激光微型工激光存儲器laser micromachining激光顯微鏡s